利用反射光譜儀分析反射光，來確定透明膜或半透明膜的膜厚及反射率.

根據客戶需求專業設計設計規劃 IN-LINE膜厚測量系統.

應用例：非多晶矽、CMP、電介質、玻璃、塑膠(PC、PMMA,etc)、塗層、透明導電膜、金屬鍍膜厚度、光學膠、晶圓薄膜、roll to roll 塗層、鏡片鍍膜等