最具有價格優勢的先進薄膜測量系統
使用F20高級頻譜反射測量系統, 我們能輕鬆的實現對膜層厚度和光學常數(n和k值)的測量。通過對膜層頂部、底部反射光譜進行分析,數秒內我們即可得到膜層的厚度、折射率和消光係數。
通過內置的獨立軟件和USB接口,能夠很容易的把F20安裝在任何的Windows電腦平台上。健全的軟件材料庫(100多種材料),極大的滿足了對各種不同膜層結構測量的需要,包括對單層、多層或獨立膜層的測量。透過測量樣品的光學常數或導入已存在的資訊,能夠在材料庫內快速的新增新材料。
可測樣品膜層
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收係數的薄膜都可以測量。
主要包括電介質與半導體材料,例如:
二氧化矽 |
氮化矽 |
類金剛石鍍膜 |
光刻膠 |
聚合物膜層 |
聚酰亞胺 |
多晶矽 |
非晶矽 |
矽 |
相關應用
主要包括電介質與半導體材料,例如:
半導體製造 • 光刻膠 • 氧化物 • 氮化物 |
液晶顯示器 • 盒厚 • 聚酰亞胺 • 導電透明膜 |
光學鍍膜 • 硬塗層 • 抗反射塗層 • 濾波片 |
生物醫學 • 聚對二甲苯 • 生物膜厚度 • 硝化纖維 |