超音波顯微鏡(SAT)，原理是藉由超音波於不同密度材料反射速率及回傳能量不同的特性來進行分析，當超音波遇到不同材料的接合介面時，訊號會部分反射及部分穿透，但當超音波遇到空氣(空隙)介面時，訊號則會完全反射，機台就會接收這些訊號組成影像。

掃描型超音波顯微鏡是一種使用超音波非破壞性檢查半導體封裝、電子零件、陶瓷、金屬、樹脂等　Void、Die Crack、Delamination等缺陷影像成像裝置。可檢測出X光裝置、紅外線檢查裝置或光學顯微鏡無法檢測的奈米級空氣缺陷。 SAT C-SAM SONIX SONOSCAN

ＳＲＴ　

VSAM350 掃描式超⾳波顕微鏡⽀持300mmWafer檢測、⽀持JEDEC托盤IC檢測、

       ⽀援條帯IC檢測、⽀援MLCC檢測、⽀援⾃動掃描檢測、NO/GO結果輸出。

WAFER BONDING 自動檢查機

 SECS/GEM compliant

Loadports for 300mm FOUF or FSOB carriers