掃描型超音波顯微鏡是一種使用超音波非破壞性檢查半導體封裝、電子零件、陶瓷、金屬、樹脂等　ＶＯＩＤ、ＣＲＡＣＫ、Ｄｅｌａｍｉｎａｔｉｏｎ等缺陷影像成像裝置。可檢測出X光裝置、紅外線檢查裝置或光學顯微鏡無法檢測的奈米級空氣缺陷。 SAT C-SAM SONIX SONOSCAN

ＳＲＴ　

VSAM350 掃描式超⾳波顕微鏡⽀持300mmWafer檢測、⽀持JEDEC托盤IC檢測、

       ⽀援條帯IC檢測、⽀援MLCC檢測、⽀援⾃動掃描檢測、NO/GO結果輸出。