產品特徵
標準搭載5軸控制
通過X、Y、Z、A、C5軸的控制，使用球頭刀、磨石等旋轉刀具的加工與以往相比，現在也可以對應旋轉工件的車削加工。
實現最小控制單位0.07nm（0.00000007mm）
由於採用了陶瓷材質的構造，最大抑制了熱變位，實現了超高精度加工。
實現平滑的軸驅動和高響應性
陶瓷製空氣軸承和直線電機的組合構成了完全非接觸的驅動，達到了平滑、高響應、無反向間隙、超高精度的軸驅動。
免維護
實現了前所未有的靜·動精度，並且能夠長期維持。
ACTIVE除振
採用X、Y、Z3軸方向的ACTIVE除振裝置，大幅度降低了地面震動等外部振動，獲得了良好的面精度。
空氣溫度的精密控制（±0.01°）
通過精密控制供應給加工機的空氣溫度（±0.01°），實現了再現性良好的超高精度加工。
產品規格
| 構造 |
氧化鋁系列陶瓷 |
| 導軌方式 |
X、Y、Z軸 |
陶瓷製空氣靜壓導軌 |
| A、C&R軸 |
空氣靜壓軸 |
| 移動量 |
X、Y、Z軸 |
100×100×55mm |
| A軸 |
180° |
| C&R軸 |
無限制 |
| 位置檢測 |
X、Y、Z軸 |
直線光柵尺 0.07nm |
| A軸 |
雷射光編碼器 45，360萬脈衝/旋轉 |
| C軸 |
分度：15，120萬脈衝/旋轉 |
| R軸 |
旋轉：121萬脈衝/旋轉 |
| 速度 |
X、Y、Z軸 |
快速進給、切削進給：3，000mm/min |
| A軸 |
10min-1 |
| C&R軸 |
分度軸（C軸）：25min-1 |
| 旋轉軸（R軸） 1000min-1 |
| 主軸 |
氣渦輪方式空氣靜壓主軸
50,000min-1/120,000min-1
|
加工樣品
機種 Ultra NANO
段差5nm的台階加工例
機種 Ultra NANO 100
| 工件 |
無電解鍍Ni-P 5mm |
| 刀具 |
單結晶金剛石角鑽頭 |
加工
條件 |
切入 |
粗 100nm |
| 精 5nm |
| 速度 |
粗 1000mm/min |
| 精 300mm/min |
| 段差 |
5.04nm |
高級V溝加工例
1. V溝斜面頂部附近
| |
頂部附近 |
底部附近 |
| 粗糙度 |
最大粗糙度(P-V) |
4.8nm |
4.6nm |
| 平均粗糙度(Ra) |
0.7nm |
0.7nm |
| 工件 |
無電解鍍Ni-P |
| 刀具 |
單結晶金剛石角鑽頭 |
2. V溝斜面底部附近
機種 NANO-100（5軸規格）
形成無象限突起的高品位、平滑加工面
ZX平面上圓弧補償實現的圓弧形狀加工
機種 NANO-100（5軸規格）
| 加工結果調整 |
R=670 mm（設計值） |
| 34.9 nm（P-V值） |
| 5.4 nm（R.M.S值） |
通過高真值度和正確的步距精度實現了良好的形狀及面精度
機種 NANO-100（5軸規格）
| 工件 |
無電解鍍Ni-P |
| 形狀 |
120°交叉 步距20μm |
| 刀具 |
V90°單結晶金剛石鑽頭 |
4旋削加工做成的非球面微鏡頭陣
專用鏡頭CAM生成的程序加工
機種 NANO-100(5軸規格)
| 工件 |
無電解鍍Ni-P |
| 加工方法 |
同时4軸 旋削加工 |
| 形狀 |
口徑0.25×4個
非球面形狀 |
超硬合金鏡片模具的研削加工例
| 工件 |
微细粒子超硬合金 |
| 形狀 |
SR15 |
| 刀具 |
#800金剛石磨石 |
| 加工方法 |
交叉研削 |
| 最大粗糙度 |
PV3.1nm |
| 平均粗糙度 |
Ra0.5nm |
| 輪廓精度 |
±20nm |
